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無油真空泵在半導體行業中的具體應用

2023/09/26

無油真空泵在半導體行業中扮演著重要的角色,因為可以滿足半導體制造過程中對高純凈度環境的要求,又保證了半導體制造的高精度和高效率。同時,無油真空泵的節能環保、長壽命和可靠性、高效性、維護方便和經濟性等優勢也使得其成為了半導體行業的理想選擇。

無油真空泵在半導體行業中的廣泛應用,主要表現在5個方面:

1、半導體制造

在半導體制造過程中,無油真空泵可以用于運輸半導體材料、離子注入、化學氣相沉積和光刻等工藝環節。由于無油真空泵不會產生油蒸氣和微粒,因此可以滿足高純度要求,保證了半導體制造過程中的高精度和均勻性。

2、單晶硅制造

在單晶硅制造過程中,無油真空泵可以用于抽真空,提供清潔的真空環境,避免了硅片的氧化和污染,有利于提高單晶硅的質量和性能。

3、光伏領域

在光伏領域,無油真空泵可以用于太陽能電池板的生產和制造過程中,為太陽能電池板提供高純度的氣體,保證其光電轉換效率和穩定性。

4、鍍膜工藝

在鍍膜工藝中,無油真空泵可以用于抽取鍍膜設備內部的空氣,提供高真空度的環境,有利于膜層的均勻分布和附著力,提高了鍍膜產品的質量和性能。

5、封裝測試

在半導體封裝測試階段,無油真空泵可以用于提供清潔的真空環境,便于進行引線焊接、壓力測試和外觀檢測等工藝步驟,保證了半導體產品的質量和可靠性。


浙江盛源是一家專業從事研究制造無油真空泵系列、新能源電動真空泵、空氣壓縮機設備、醫療器材、永磁伺服電機、工業投資等多元化經營的大型企業,是國家高新技術企業,浙江省級技術研究開發中心。


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